微小間隙電極間における電界放射電流の挙動

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概要

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FEAのような微小間隙電極間においては、真空中の残留気体分子のおよほす影響が、電極間が大きい場合とは異なるものと考えられる。ここでは、電界放射電流の挙動について、電極間距離をパラメータとして検討した。エミッションの時間変化における電流の初期減衰と相対変動に着目して実験を行った。エミッションの時間変化は初期電流を50nAとして測定した。電極間距離1mm程度から数十μmの範囲では、エミッションに大きな初期減衰は見られなかった。約20μm以下の距離においては、初期減衰が見られた。その距離でのFowler-Nordheim plotは、高電圧側で直線からずれる傾向があった。また、相対変動は、電極間距離の変化に対して、今回の実験で実現できた10μm前後の距離までの範囲及び50nA程度の電流量でほとんど差違は見られなかった。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-12-15

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