遷移金属窒化物電界放射陰極の放射特性
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概要
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遷移金属窒化物の窒化チタンと窒化ニオブについて調査した。窒化物の電界放射陰極は、針状に加工した金属をアンモニア雰囲気中で加熱して製作した。TiNからの放射電流は、ステップ、スパイク状の変動を示した。この放射電流の変動は遷移金属窒化物の電界放射電流に共通のものと考えられる。窒化ニオブ電界放射陰極では、試料のフラッシング温度1500℃付近を境界として放射特性に変化が現れた。AESを用いた窒化ニオブの表面分析の結果、この放射特性の変化は、陰極表面での窒素の割合が減少する事が原因と考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-15
著者
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