光の波長域での3次元フォトニック結晶の新しい実現法

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フォトニック結晶は、その内部に周期的な屈折率分布をもつ新しい光材料であり、光子のエネルギーに対してバンド構造が形成されるという特長をもつ。このバンドギャップ中では光子の状態密度が零となり、自然放出光の完全制御、単一モード発光ダイオード零しきい値半導体レーザの実現といった応用上興味深い可能性があるため、フォトニック結晶は近年大きな注目を集めるに至っている。しかしながら、その実現には,光の半波長程度の3次元の極微加工技術が必要とされるため、光の波長域での3次元フォトニック結晶の実現例はこれまでにない。現在までに報告されている3次元フォトニック結晶はマイクロ波やミリ波の領域に限られている。光の波長域においては,3次元ではなく、2次元のものが主として研究されているが、この場合は、残り1方向に光が漏れ出すため、完全な自然放出光制御は困難といえる。従って、フォトニック結晶分野における重要な研究課題の1つは、光の波長域における3次元結晶を如何に実現するかということになる。以下では、この課題に対する1つの回答として、半導体の極微加工技術とウエハ融着技術を組み合わせた新しい3次元結晶実現法を提案したい。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-03-11

光の波長域での3次元フォトニック結晶の新しい実現法

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