AFM微細酸化法による室温動作単一電子素子
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概要
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原子間力顕微鏡(AFM)のカンチレバーを陰極として用い、原子オーダー平坦アルミナ絶縁基板上に形成したチタン金属薄膜を、カンチレバーの直下のみ局所的に陽極酸化を行って、単一電子デバイスを形成する手法について最近の成果についてまとめる。これまで行ってきた微細酸化法の改善法、測定手法の改善による測定系のノイズ、リーク電流の低減の効果について述べる。また室温における単一電子トランジスタのクーロン振動特性、クーロンダイアモンド特性の結果について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-07-21
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