超高真空中接触角測定法によるGaAs基板表面の『その場』観察
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
真空中、水素中のGaAs基板の表面状態を明らかにするため、GaAs基板 (20℃〜550℃) 上に接したGa液滴の接触角を測定した。その結果、酸化膜を成長させたGaAs上のGa液滴の接触角は基板温度によらず真空中では140°の値を示すこと、酸化膜を除去したGaAsでは基板温度の上昇につれて真空中では140°から110°に、水素中では130°から100°に接触角が低下することが明らかとなった。この結果と、処理をしたGaAsに成長したGeの電気的特性から、GaAs基板の前処理としてはセミコクリーンや低溶存酸素純水処理が、雰囲気としては水素中が、低温エビタキシャル成長には望ましいことが明らかとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-06
著者
-
奥山 克郎
山形大学工学部電気電子工学科
-
門原 拓也
山形大学工学部電気電子工学科
-
中山 健
山形大学工学部電気電子工学科
-
松下 浩一
山形大学 工学部
-
門原 拓也
山形大学 工学部
-
中山 健
山形大学 工学部
-
佐藤 哲夫
山形大学 工学部
-
長沼 博
山形大学 工学部
-
奥山 澄雄
山形大学 工学部
-
奥山 克郎
山形大学 工学部
-
長沼 博
山形大学工学部
-
奥山 澄雄
山形大学
-
Okuyama Katsuro
Department Of Electrical And Information Engineering Faculty Of Engineering Yamagata University
-
Okuyama Katsuro
Department Of Electrical And Information Engineering Yamagata University
-
OKUYAMA Katsuro
Department of Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Yamagata University
関連論文
- 地理的近傍情報とハイパーリンク的近傍情報の組み合わせによる情報ナビゲーション(ITS画像処理,映像メディア,視覚および一般)
- オントロジー構築サービスONTOMOの開発 : インスタンス自動推薦の試作と評価(企業・学生交流セッション「企業のAI・大学のAI」)
- B-19-17 GISを用いた住民参加型津波防災システムの開発(B-19.ネットワークソフトウェア,一般講演)
- P2MP-MPLSパスのリンク障害復旧用予備パス経路設定方式に関する検討(リソース管理,IPバックボーンネットワーク,MPLS,GMPLS,フォトニックネットワーク及び一般)
- B_029 ヘテロジニアスマルチコアCPUの特性を考慮したOS(B分野:ソフトウェア)
- 関数型ソフトウェア部品の適用履歴を用いたスクリプティング支援環境
- オブジェクトを隠蔽可能なファイルシステムの実現(ポスターセッション)
- B-014 メモリアクセス特性を用いたメモリ管理ポリシ選択の自動化(B.ソフトウェア)
- 動的更新を支援するOSの運用時視覚化機構の提案(開発環境)
- リンク後の実行イメージに対するPortal生成法とその評価(システムソフトウェアの動的構成法)
- 図形エディタの操作履歴と図形依存関係を図式的に扱うマクロシステム
- 複数タスクの特徴に動的適合可能なマルチポリシメモリ管理システム
- カーネルレベルで実現したネットワーク透過な周辺機器制御の枠組み
- 2Q-1 区間長制約付き正規表現を用いた時間軸を持つデータ編集環境
- 酸化物超伝導体の磁束量子観察
- ヘリコンスパッタリング法によるYBCOの作製
- 超電導アンテナの設計と評価(II)
- ヘリコンスパッタリング法によるCeO2バッファー層の作製と評価(II)
- YBCO/CeO_2/Al_2O_3薄膜のエピ成長機構とAFM観察
- リフレッシュ理科教室のための教材試作と実践
- Pd-Al_2O_3-Alトンネルダイオード水素ガスセンサの表面汚染と水素応答
- 高真空中接触角測定法によるGaAs表面状態の「その場」観察
- PdAg/Glass 梁型水素ガスセンサの特性改善
- 発光によって水素を検知する有機EL素子の高輝度化
- Hydrogen Gas Sensing Using a Pd-Coated Cantilever
- 超高真空中接触角測定法によるGaAs基板表面の『その場』観察
- 接触角測定法によるGaAs基板表面の観察
- Low Temperature Synthesis of (La,Sr)_2 CuO_4 : Preparationfrom Hydroxide
- Improved Response Time of Al-Al_2O_3-Pd Tunnel Diode Hydrogen Gas Sensor
- Pd/Ni-Al_2O_3-Al Tunnel Diode as High-Concentration-Hydrogen Gas Sensor
- Current vs Voltage Characteristics of Al-Al_2O_3-Pd Tunnel Junction Hydrogen Sensor
- BEDO-TTFとC15-TCNQを混合した導電性LB膜の作製と評価
- 超伝導接合による磁気シールドシステムの大型化
- Bi2212単結晶の磁束量子観察(II)
- Y-Ni-B-C系超伝導体の合成とその評価
- 地理的近傍情報とハイパーリンク的近傍情報の組み合わせによる情報ナビゲーション(ITS画像処理,映像メディア,視覚及び一般)
- カーネルレベルで実現したネットワーク透過な周辺機器制御の枠組み
- 酸化物超伝導体の磁束量子観察
- A-1-21 V_ばらつきを考慮した極低電圧アナログ回路向け電源供給回路(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- A-1-49 弱反転領域動作極低電圧駆動アナログ回路のI/O回路との挙動(A-1.回路とシステム,一般セッション)
- A-1-21 弱反転動作を用いた極低電圧アナログ増幅回路(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- A-1-8 センサ情報処理向けアナログ情報記憶保持回路(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- Bi_2Sr_2Ca_1Cu_2O_y単結晶の磁束量子観察
- ブラウザ内JavaエンジンCABERの動作性能
- ブラウザ内JavaエンジンCABERの動作性能
- ユーザの操作に合わせて反応する動的なGUIデザインの検討(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
- ユーザの操作に合わせて反応する動的なGUIデザインの検討(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
- JavaScriptのためのJava Appletによるブラウザ内サーバ(ネットワーク理論・一般,NGN,VoIP,FMC,自律分散ネットワーク,ソフトウェアエージェント,Webサービス,Web2.0及び一般)
- PdNi被膜磁性リボンを用いたリモート水素センサ
- Pdを蒸着した磁性リボンを用いたリモート水素ガスセンサ(計測・高周波デバイス)
- キャパシタカップリングされた基板ゲートをもつSOI-MOSFETひずみ検出素子の動作特性(センサデバイス,MEMS,一般)
- 地理的近傍情報とハイパーリンク的近傍情報の組み合わせによる情報ナビゲーション(ITS画像処理,映像メディア,視覚及び一般)
- C-12-12 一軸応力検知用SOI-MOSFETひずみ検出回路の試作評価(センサ・有線通信,C-12.集積回路,一般セッション)
- 事例を利用した対話的なデータフロースクリプティング支援(不均質なライフログからのデータマイニング及び一般)
- 処理事例共有と検索によるデータフロー型スクリプト作成支援
- 処理事例共有と検索によるデータフロー型スクリプト作成支援
- C-5-11 SOI-nMOSFETひずみセンサの作製と評価(C-5.機構デバイス,一般講演)
- 29a-L-9 Bi系超伝導体の還元処理とホール濃度の変化
- 固相内におけるエピタキシ-の概念を用いた新規高温超伝導体の設計と構造評価
- 4a-YD-11 固体内エピタキシーの観点から見た酸化物超伝導体の構造と物性
- 14a-W-3 Bi系1212相の合成と物性
- 30p-PSA-56 非銅系ペロブスカイト化合物をブロック層とする銅酸化物の合成と構造(II)
- 29a-W-4 非銅系ペロブスカイト化合物を含む銅酸化物の合成と構造(I)
- 27a-PS-37 Ba_La_xBiO_yとBaBi_La_xO_yの構造と物性
- 26a-Q-1 非銅系ペロブスカイト層をブロック層とする銅酸化物の合成と構造
- 27p-PS-50 Bi_2Sr_(Ca_Y_x)_Cu_2O_y, Bi_2(Sr_La_x)_Ca_Cu_2O_yのBiとCu価数
- Siバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサの試作・評価
- 磁性リボンを用いたワイヤレス水素ガスセンサ
- SOI基板を利用したMOSFET型ひずみ検出素子の試作と評価
- SOI-MOSFETを用いた能動型ひずみセンサの試作評価(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- SOI-MOSFETを用いた能動型ひずみセンサの試作評価(センサと応用,アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 陰極にPd-Auを用いた有機EL水素ガスセンサの作製と評価(特別ワークショップ:電子デバイスとしてみた有機トランジスタ・太陽電池の現状と展望)
- ひずみセンサ一体型ダイアフラム構造水素ガスセンサの作製
- 記憶保持動作つきCMOSアナログ記憶回路(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
- 記憶保持動作つきCMOSアナログ記憶回路 (情報センシング)
- 6)白色発光有機発光ダイオード(情報ディスプレイ研究会)
- 白色発光有機発光ダイオード : 情報ディスプレイ
- 白色発光有機発光ダイオード
- Relationship between T_c and Cu Valence and Bond Lengths of Cu-Cu and Cu-O for Ba_Eu_Cu_3O_ Compounds
- Structure and Resistivity of BaBiO_y, Ba_<1x>La_xBiO_3, and BaBi_<1x>La_xO_3 (Special Issue on High-Temperature Superconducting Electronics)
- Crystallization of Amorphous YBCO and BSCCO Thin Films by Zone-Melt Technique (Special Issue on High-Temperature Superconducting Electronics)
- Tellurium Films Evaporated on Oriented Au Islands
- C-12-60 極低電圧駆動ディジタルアンプ用0.5V動作三角波発生回路(C-12.集積回路,一般セッション)
- 1,2,4-Triazole Derivative as an Electron Transport Layer in Organic Electroluminescent Devices
- Molecularly Doped Polymers as a Hole Transport Layer in Organic Electroluminescent Devices
- Surface Resistance of Bi_2Sr_2Ca_1Cu_2O_y Strip Lines Made from Green Sheet
- Surface State Density of Evaporated SiO-Te MIS Structure
- Effects of Starting Materials and Preparation Conditions on Superconducting Properties of Ba_2YCu_3O_ Compounds
- Internal Stress in Evaporated Tellurium Films
- Effect of Partially-Ionized Vapor on Epitaxial Growth of Te Thin Films
- Recrystallization of Te Films by Hot-Wire Zone-Melting
- Epitaxial and Amorphous-Crystalline Phase Transition Growth of Evaporated Te Films
- 動作周波数を向上させた0.5Vサブスレッショルド駆動アナログ増幅回路の設計(ポスター講演,学生・若手研究会)
- C-12-32 擬似ホール効果を用いたMOSFET応力検出素子の動作評価(C-12.集積回路,一般セッション)
- 0.5V駆動アナログ増幅回路におけるサブスレッショルド領域のみでの温度補償法の検討
- ソースコード差分とWebブックマークの関連付けによるプログラミング支援(LOD,メタデータ,ライフログ活用技術,オフィスインフォメーションシステム,ライフインテリジェンス,一般)
- 印刷された識別子と携帯情報機器を用いた避難所等用情報管理支援(ネットワーク活用,ライフログ活用技術,オフィスインフォメーションシステム,ライフインテリジェンス,及び一般)