SOI基板を利用したMOSFET型ひずみ検出素子の試作と評価
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概要
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- 2009-07-23
著者
-
原田 知親
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学分野
-
奥山 澄雄
山形大学
-
松下 浩一
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
奥山 澄雄
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
松下 浩一
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学分野
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奥山 澄雄
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学分野
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原田 知親
山形大学大学院理工学研究科
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松下 浩一
山形大学大学院理工学研究科
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奥山 澄雄
山形大学大学院理工学研究科
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原田 知親
山形大学
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奥山 澄雄
山形大学工学部
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