キャパシタカップリングされた基板ゲートをもつSOI-MOSFETひずみ検出素子の動作特性(センサデバイス,MEMS,一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
今日、ひずみセンサは圧力検出部やパッケージングの残留応力測定など、様々な分野で利用されている。従来は抵抗や容量などの受動素子で構成されているが、携帯機器などに搭載するには、長時間連続駆動が必要となるため、低消費電力かつ小型化が可能で、回路と一緒に集積可能なSOI-MOSFET (Silicon On Insulator - Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)を用いたひずみ検出素子を作製し、その有効性を示してきた。SOI-MOSFETの構造上、バルクMOSFETのような基板に電位をとらないかわりに支持基板層に電極を設けることでMOSFETの見かけのしきい値を変化することが可能である。そこで本研究では、SOI-MOSFETひずみ検出素子の静特性とひずみ検出特性に対して、支持基板層に与える電位がどの程度影響するのか検証した。
- 2010-09-06
著者
-
原田 知親
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学分野
-
奥山 澄雄
山形大学
-
松下 浩一
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
奥山 澄雄
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
松下 浩一
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学分野
-
奥山 澄雄
山形大学大学院理工学研究科電気電子工学分野
-
原田 知親
山形大学大学院理工学研究科
-
松下 浩一
山形大学大学院理工学研究科
-
奥山 澄雄
山形大学大学院理工学研究科
-
原田 知親
山形大学
-
奥山 澄雄
山形大学工学部
関連論文
- サブスレショルド電流で駆動する0.5V CMOSアナログ増幅器の試作評価 (情報センシング)
- サブスレショルド電流で駆動する0.5V CMOSアナログ増幅器の試作評価(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- リフレッシュ理科教室のための教材試作と実践
- Pd-Al_2O_3-Alトンネルダイオード水素ガスセンサの表面汚染と水素応答
- 高真空中接触角測定法によるGaAs表面状態の「その場」観察
- PdAg/Glass 梁型水素ガスセンサの特性改善
- 発光によって水素を検知する有機EL素子の高輝度化
- 超高真空中接触角測定法によるGaAs基板表面の『その場』観察
- 接触角測定法によるGaAs基板表面の観察
- AS-1-3 0.5V以下の電源で駆動する弱反転動作アナログ回路(AS-1.サブスレッショルドCMOS回路技術,シンポジウムセッション)
- A-1-21 V_ばらつきを考慮した極低電圧アナログ回路向け電源供給回路(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- A-1-49 弱反転領域動作極低電圧駆動アナログ回路のI/O回路との挙動(A-1.回路とシステム,一般セッション)
- A-1-21 弱反転動作を用いた極低電圧アナログ増幅回路(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- A-1-8 センサ情報処理向けアナログ情報記憶保持回路(A-1. 回路とシステム,一般セッション)
- 動作周波数を向上させた0.5Vサブスレッショルド駆動アナログ増幅回路の設計 (集積回路)
- 広入出力範囲を有する極低電圧駆動2段増幅回路(若手研究会)
- PdNi被膜磁性リボンを用いたリモート水素センサ
- Pdを蒸着した磁性リボンを用いたリモート水素ガスセンサ(計測・高周波デバイス)
- キャパシタカップリングされた基板ゲートをもつSOI-MOSFETひずみ検出素子の動作特性(センサデバイス,MEMS,一般)
- サブスレショルド電流で駆動する0.5V CMOSアナログ増幅器の試作評価(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- C-12-12 一軸応力検知用SOI-MOSFETひずみ検出回路の試作評価(センサ・有線通信,C-12.集積回路,一般セッション)
- 山形大学シラバス処理システムの稼働状況の分析
- 実践的見地からのシラバスデータベース開発
- C-5-11 SOI-nMOSFETひずみセンサの作製と評価(C-5.機構デバイス,一般講演)
- Siバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサの試作・評価
- 磁性リボンを用いたワイヤレス水素ガスセンサ
- SOI基板を利用したMOSFET型ひずみ検出素子の試作と評価
- SOI-MOSFETを用いた能動型ひずみセンサの試作評価(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- SOI-MOSFETを用いた能動型ひずみセンサの試作評価(センサと応用,アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 陰極にPd-Auを用いた有機EL水素ガスセンサの作製と評価(特別ワークショップ:電子デバイスとしてみた有機トランジスタ・太陽電池の現状と展望)
- ひずみセンサ一体型ダイアフラム構造水素ガスセンサの作製
- 記憶保持動作つきCMOSアナログ記憶回路(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
- 記憶保持動作つきCMOSアナログ記憶回路 (情報センシング)
- ACS-1-3 極低電圧駆動アナデジ混載回路における弱反転動作増幅回路(ACS-1.最新アナデジ混載LSI技術,シンポジウムセッション)
- ACS-1-3 極低電圧駆動アナデジ混載回路における弱反転動作増幅回路(ACS-1.最新アナデジ混載LSI技術,シンポジウムセッション)
- C-12-60 極低電圧駆動ディジタルアンプ用0.5V動作三角波発生回路(C-12.集積回路,一般セッション)
- サブスレショルド動作PWM駆動アナログ差動増幅器の評価 (集積回路)
- サブスレショルド動作PWM駆動アナログ差動増幅器の評価 (情報センシング)
- 動作周波数を向上させた0.5Vサブスレッショルド駆動アナログ増幅回路の設計(ポスター講演,学生・若手研究会)
- 3-221 90分×15週で行うレゴマインドストームを用いたものづくり教育・グループワーク教育の実践(11)ものつくり教育-IV,口頭発表論文)
- サブスレショルド動作PWM駆動アナログ差動増幅器の評価(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- C-12-32 擬似ホール効果を用いたMOSFET応力検出素子の動作評価(C-12.集積回路,一般セッション)
- サブスレショルド領域で動作するPWM駆動アナログ差動増幅回路 (アンプ)
- 0.5V駆動アナログ増幅回路におけるサブスレッショルド領域のみでの温度補償法の検討
- サブスレッショルドのみで動作する極低電圧アナログ回路向け0.5V動作温度補償回路
- 擬似ホール効果を利用したMOSFET型応力検出素子の特性評価 (集積回路)
- 擬似ホール効果を利用したMOSFET型応力検出素子の特性評価
- A-1-9 極低電圧動作3入力2出力アナログ比較器の設計と評価(A-1.回路とシステム,一般セッション)