ECRプラズマソースを用いて作製したInN薄膜の特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
ECRプラズマソースを用いた反応性蒸着法によりInN薄膜の作製を行い,RFプラズマを用いて作製したInN薄膜の特性との比較検討を行った.結晶性が良い膜が得られる基板温度はRFプラズマを用いた場合に比べやや高い傾向にあったが,表面モフォロジーが比較的良好な膜が得られた.また,RFプラズマを用いた場合には成膜速度が遅くなると共に表面モフォロジーおよび結晶性が悪化する傾向が見られたが,ECRプラズマソースを用いた場合にはそのような傾向は見られなかった.ECRプラズマソースと基板との距離およびオリフィスの径に対する膜の特性の依存性についても併せて検討を行った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-12
著者
関連論文
- 液晶光双安定素子による画像演算
- 液晶光双安定素子による画像演算 : 画像変換技術関連 : 情報入力 : 情報ディスプレイ
- 陽極酸化ZnO膜とRFスパッタリングPr-Co-O薄膜によるヘテロ接合の電圧-電流特性
- YAGレーザ光照射により作製したMn-Cu酸化物薄膜マイクロ・サーミスタの特性
- 希土類イオンを含む溶液の表示素子への応用
- C-6-1 各種導電層を有するサファイア基板へのCdTe薄膜の作製(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- C-6-16 真空蒸着法により作製したInドープCdTe薄膜のPL特性(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- C-6-1 真空蒸着法によるサファイアおよびガラス基板上へのCdTe薄膜の作製とその諸特性(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- YAGレーザ照射によるBaTiO_3系薄膜マイクロPTCサーミスタの作製
- GaN系マイクロUV-LEDアレイ励起型蛍光ディスプレイにおける発光特性のモンテカルロシミュレーション
- GaN系マイクロUV-LEDアレイ励起型蛍光ディスプレイにおける発光特性のモンテカルロシミュレーション
- YAGレーザプロセッシングによるBa-Ti系薄膜PTC素子の作製
- 11)紫外発光ダイオード励起による多色蛍光液晶ディスプレイ(〔情報センシング研究会 情報ディスプレイ研究会〕合同)(画像変換技術)
- 紫外発光ダイオード励起による多色蛍光液晶ディスプレイ
- 紫外発光ダイオード励起による多色蛍光液晶ディスプレイ
- 紫外発光ダイオード励起による多色蛍光液晶ディスプレイ
- Van der Pauw法による測定値に対する有限要素シミュレーション
- ECRプラズマソースを用いて作製したInN薄膜の特性
- InN-In_2O_3系薄膜の電気的光学的特性
- Pr-Co-O 系薄膜と BaTiO_3 半導体の接合とその電気的特性
- 反応性蒸着法によるInN-In_2O_3系薄膜の作製
- 交互蒸着法によるPb系ペロブスカイト型薄膜の作製
- 電子ビ-ム蒸着法によるPb系誘電体薄膜の作製
- 液晶光双安定素子による画像演算
- けい光性ゲストを溶解した液晶セルの諸特性(I) : 補償液晶及びDSM液晶セルについて
- ポリビニルシンナメート膜における配向処理と液晶配向特性
- ポリビニルシンナメート膜における配向処理と液晶配向特性
- UVキュアラブル液晶マトリクス・ネマティック液晶複合セルにおけるリバースモードの特性
- ポリマー分散液晶における液晶材料と電気光学特性
- ポリマーボールタイプの紫外線硬化型高分子散液晶における紫外線照射時間の最適化
- メモリ効果を有するPDLCセルにおける光散乱及び反射特性 : 情報ディスプレイ : 第4回日韓台情報ディスプレイ合同研究会
- 5-9 高分子分散型液晶を用いた熱書き込み表示素子
- PDLC素子における電界印加によるメモリ効果 : 情報入力,情報ディスプレイ
- ポリマー中に液晶を分散した素子の電圧印加による光透過特性 : 情報ディスプレイ : 液晶材料・デバイス関連
- メチレンブルー薄膜のネマティック液晶分子配向特性 : 画像表示
- C-6-2 In薄膜の熱酸化・再結晶化によるIn_2O_3薄膜の作製(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- C-6-17 サファイア単結晶基板を用いたCu薄膜の固相エピタキシャル成長(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- 液晶マイクロレンズ
- 液晶マイクロレンズ不規則配列セルの光散乱効果
- 液晶マイクロレンズの光ファイバスイッチへの応用
- ネマティック液晶セルにおける分子配向の電界によるメモリ効果
- 液晶を用いた光双安定素子による光・電気論理演算
- 液晶マイクロレンズ効果による光散乱特性 : "画像変換装置"合同研究会 : 電子装置 : 画像表示
- 希土類イオンを含む溶液の表示素子への応用(II) : 透明絶縁薄膜による特性の改善
- くさび形液晶セルにおける分子配列と電気光学的特性
- 4)希土類イオンを含む溶液の表示素子への応用(II)(〔テレビジョン電子装置研究会(第109回)画像表示研究会(第67回)〕合同)
- WO_3-MoO_3-V_2O_5系薄膜におけるエレクトロクロミズム