YAGレーザプロセッシングによるBa-Ti系薄膜PTC素子の作製
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概要
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微小な薄膜PTC素子を作製するための一つの手法として、Ti薄膜とBaO薄膜からなる積層薄膜の微小領域にYAGレーザ光を空気中で照射することにより酸化反応処理を行い、PTC特性を発現させることを試みた。YAGレーザ光の照射パワーや走査速度を加減することで照射した部分の抵抗値を自由に制御でき、PTC特性を有するBaTiO_3を形成することができた。また、TiサイトをZrで置換することによる抵抗値が急増する温度の制御も、バルク焼結体における場合と同様に可能であることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-06
著者
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