YAGレーザ光照射により作製したMn-Cu酸化物薄膜マイクロ・サーミスタの特性
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概要
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Thin-film microthermistors were prepared from Mn-Cu layered thin-films using a YAG laser. A Mn thin-film and a Cu thin-film were continuously deposited on quartz substrates by the vacuum deposition method, then the YAG laser beam was irradiated to the layered thin-films in air and scanned at various speeds. After the processing the resistance of the layered thin-films increased and their thermistor constant reached within the range of 2500 to 4000 K. The resistance and thermistor constant were controlled by the laser scanning speed and the number of scanning times. The electrical properties were more stable for heat cycles when the laser beam was scanned at low speeds.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1997-06-01
著者
-
佐藤 祐一
秋田大学工学資源学部電気電子工学科
-
佐藤 進
秋田大学鉱山学部電子工学科
-
佐藤 祐一
秋田大学鉱山学部電気電子工学科
-
田口 春男
TDK(株)電子デバイス事業本部
-
小笠原 正
TDK(株)電子デバイス事業本部
-
田口 春男
Tdk
-
桐田 英和
秋田大学鉱山学部電気電子工学科
-
田口 晴男
Tdk(株)電子デバイス事業本部
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