交互蒸着法によるPb系ペロブスカイト型薄膜の作製
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概要
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Thin films of PbTiO_3 and Pb(Mg_<l/3>Nb_<2/3>)O_3-PbTiO_3 were prepared by an alternate evaporation method. Ingredient metals of the thin films were repeatedly deposited on SnO_2-coated substrates by using electron-beam evaporation sources, then the deposited films were heated in air. Dependence of oxidation and crystallization process on the temperature and period of time for heat treatment was studied by X-ray diffraction analysis. When the thickness of each layer of the films was limited, films with a perovskite-type structure were obtained. By electron probe micro analysis, the compositions of the prepared thin films were confirmed to be nearly equal to the stoichiometric compositions.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1993-07-01
著者
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