鉄基アモルファス多層高磁歪薄膜の磁気表面弾性波特性
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概要
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我々は、鉄基アモルファス強磁性薄膜を高周波スパッタ法で表面弾性波(SAW)伝搬路上に形成し、磁性薄膜中の磁化とSAWとを結合させた磁気表面弾性波(Magneto-SAW;MSAW)デバイスの基礎的な性質について調べてきた。これらの合金薄膜を用いたMSAWデバイスは、非常に小さな磁界の印加により、SAW速度(位相)を大幅かつ連続的に制御することができ、従来のSAWデバイスでは容易に真似できない高い機能性を持っている。しかしながらこの優れた特性も、合金薄膜を伝搬路に用いているため、電子デバイスとして重要となる数十MHz以上の周波数帯ではMSAW伝搬に付随する渦電流による損失のため損なわれる欠点があった。我々はこの難点を克服する方策として、これら合金薄膜を薄い絶縁層と交互に積層化した多層MSAWデバイスを提案し、その基礎特性を詳しく調べた。本報では、この多層膜中にLove型のMSAWを伝搬させることで、高周波領域における著しい損失の低減と大幅な特性の改善が実現できることを、理論解析結果、実験結果の両面から示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-07-22
著者
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