SCE2000-15 / MW2000-79 白金中間層上のYBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜成長
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概要
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高温超電導薄膜を高速の伝送線路として使用する高温超電導マルチチップモジュール(HTS-MCM)に興味が持たれている。これを実現するためには低誘電率材料上に高温超電導薄膜を形成する技術が必要である。低誘電率材料としてSiO_2アモルファス基板を用い、バッファー層としてPt薄膜を介し、YBCO薄膜を成膜することを試みた。Pt薄膜の膜質を制御し、膜厚を薄く140AとすることでYBCO薄膜のc軸成長を促し、Tc=70Kを得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-08-22
著者
-
榎本 陽一
超電導工学研究所
-
鈴木 克己
超電導工学研究所・田町分室
-
鈴木 克己
超電導工学研究所
-
瀧 謙司
超電導工学研究所
-
鈴木 武雄
超電導工学研究所
-
鈴木 克巳
(株)日立メディコ技術研究所
-
瀧 謙司
超電導工学研究所:(現)京セラ(株)
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