TFA-MOD法YBCO薄膜のマイクロ波表面抵抗と臨界電流密度特性

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概要

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TFA-MOD(trifluoroacetate-metalorganic deposition)法は非真空の低コストプロセスであり、かつ組成の制御性が良く得られている超電導薄膜製造技術である。当初、本成膜方法は酸化物高温超電導材料を線材やテープに適用する目的で開発されたものである。しかし、本報告で述べるように直径50mmのLaAlO_3基板上にYB_2C_3O_<7-δ> (YBCO)を成膜できるようになるに至り、携帯電話で代表される移動体通信基地局で実用段階に既に入っているフロントエンド用のマイクロ波フィルタに利用可能であるかの検討が急務になった。2GHz近傍で低損失である高温超電導フィルタを実現するための第1の条件は、大面積で均一な超電導特性であることである。第2の条件は、マイクロ波表面抵抗が小さいことである。その2つ条件につき評価をし、良好な特性と今後の課題を得ることができた。
社団法人電子情報通信学会の論文
2001-04-18

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