有機金属化学蒸着(MOCVD)法により作製したCu組成の異なるYBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜の電気特性
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概要
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Double-sided epitaxial YBa_2Cu_3O_<7-δ> (YBCO) films with different copper (Cu) contents were grown on (100) LaAlO_3 substrates using a hot-wall type metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) apparatus. We investigated the relationship between Cu composition ratio of YBCO films and superconducting properties. Some precipitates were observed on the surface of the films and gradually became large as the Cu composition ratio increased. Despite the precipitation phenomenon, these YBCO films exhibited excellent superconducting properties at Cu composition ratios ranging from 2.5 to 4.0. The possibility of using the films for microwave application is also discussed.
- 2000-07-01
著者
-
平林 泉
超電導工学研究所
-
吉田 隆
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
高井 吉明
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
平林 泉
(財)国際超電導産業技術研究センター 超電導工学研究所
-
長谷川 真人
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所第五研究部
-
吉田 隆
名古屋大学大学院工学研究科エネルギー理工学専攻
-
石沢 恒司
名古屋大学工学部
-
岩田 守広
名古屋大学工学部
-
山際 勝也
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所第五研究部
-
山際 勝也
超電導工学研究所名古屋研究所
-
高井 吉明
名古屋大学大学院 工学研究科 エネルギー理工学専攻
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