スパッタリングによる単結晶薄膜の作製 (酸化物高温超伝導体の作製(技術ノ-ト))

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概要

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• 応用物理学会の論文

著者

• 鈴木 実

  Ntt境界研

• 村上 敏明

  NTT研究所

• 榎本 陽一

  超電導工学研究所

• 村上 敏明

  Ntt光エレ研

• 鈴木 実

  NTT光エレ研

• 鈴木 実

  Ntt 基礎研

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