LPE単結晶基板上への接合作製
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概要
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液相成長したYBa_2Cu_3O_<7-x>単結晶膜上に層間絶縁膜となるSrTiO_3および上部配線層となるNdBa_2Cu_3O_<7-y>単結晶膜の多層膜を作製した。NdBa_2Cu_3O_<7-y>膜堆積に先立って、YBa_2Cu_3O_<7-x>単結晶膜にイオンミリングにより傾斜部を作製し、その上にNdBa_2Cu_3O_<7-y>単結晶膜を成長させることにより接合を作製した。形成された接合の電流-電圧特性は低温ではフラクッスフロ型の特性を示した。Tc近傍ではRSJ型の特性を示した。AFM観測から、接合部の表面平坦性に劣化はなく、LPE膜の高い結晶性によると考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-04-26
著者
-
鈴木 秀雄
超電導工学研究所
-
塩原 融
超電導工学研究所
-
和泉 輝郎
超電導工学研究所
-
榎本 陽一
超電導工学研究所
-
飯山 道朝
超電導工学研究所
-
鈴木 勇介
超電導工学研究所
-
末沢 慶孝
帝京平成大学
-
星 三郎
超電導工学研究所
-
星 三郎
財団法人国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所線材研究開発部
-
末沢 慶孝
帝京平成大
-
塩原 融
超電導工学研
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