電量滴定法によるヒ化ガリウムの化学量論組成の精密測定
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概要
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ヒ化ガリウムの化学量論組成からのずれの正確な評価法として精密電量滴定法を開発した.ガリウムは,純度既知で高均一度のEDTAの一定過剰量を加えて反応させた後,過剰残留部のEDTAを,カドミウムアマルガム陽極から定電流溶出させたカドミウム(II)イオンで電量滴定する手法により精密定量した.ヒ素は亜硫酸ナトリウムを用いて三価に還元してから電量ヨウ素滴定して定量した.市販の高純度金属ヒ素(純度表示値7-nine)の純度測定結果は99.973%,相対標準偏差は0.034%であった.4種類のヒ化ガリウムウエハー試料で得られたガリウムとヒ素の定量値の総和は100%より0.04〜0.1%程度低く,化学量論からのわずかなずれが認められた.本法により得られた標準偏差は原子割合で10^<-4>〜10^<-5>であり,測定精度は十分満足できるものであった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1989-12-05
著者
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