スリットパターン化したCoFe系高飽和磁化膜の磁気特性と異方性磁界制御
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概要
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In order to obtain magnetic thin film cores for MMIC (Monolithic Micro-wave Integrated Circuit) inductor, slit patterned CoFe thin films with high saturation magnetization more than 23 kG was fabricated on glass substrate. Annealing effects on the magnetic properties of the film were investigated. The anisotropy field H_k more than 200 Oe was induced together with soft magnetic properties corresponding to GHz-frequency driving. For the much higher driving frequency range of GHz, the H_k is found to be controllable, according mainly to demagnetizing field estimated from geometries of the slit patterned film with the higher saturation magnetization.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2004-09-01
著者
-
島田 寛
東北大学大学院工学研究科
-
八木 正昭
崇城大学
-
島田 寛
東北大科研
-
島田 寛
東北大学多元物質科学研究所
-
宗像 誠
崇城大学エネルギーエレクトロニクス研究所
-
八木 正昭
崇城大学エネルギーエレクトロニクス研究所
-
島田 寛
東北大
-
荒木 和幸
崇城大
-
並河 雅志
崇城大学エネルギーエレクトロニクス研究所
-
荒木 和幸
崇城大学エネルギーエレクトロニクス研究所
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