605 D. C. マグネトロンスパッタリングにより成膜した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧と成膜ガス圧の影響
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2003-09-23
著者
-
高松 徹
滋賀県立大学工学部
-
田邉 裕貴
滋賀県立大学工学部
-
三好 良夫
滋賀県商工環境(株)
-
田邉 裕貴
滋賀県大 工
-
高松 徹
滋賀県大
-
三好 良夫
滋賀県大
-
粟野 仁
滋賀県大院
-
粟野 仁
滋賀県立大学大学院:(現)中央発條(株)
関連論文
- 球圧子押込み試験によるTiN被覆超硬合金における薄膜の破壊靱性評価
- TiN被覆鋼の平面曲げ疲労強度に及ぼす成膜後基板焼入れ処理の影響
- TiN被覆鋼のレーザ焼入れ
- 802 セラミックス被覆鋼の機械的特性に及ぼす熱処理の影響(GS-3 力学特性(1))
- 219 TiN薄膜の転がり疲労はく離発生寿命に及ぼす熱処理の影響(OS-1 実機・実働荷重下の評価)
- 913 色付き廃ガラスを原料とした発泡化ガラスによる屋上緑化用基盤の開発(GS-3 実機・実物)
- 704 TiN薄膜の摩擦摩耗特性に及ぼす成膜後加熱処理の影響(GS-3 傾斜機能・薄膜)
- 成膜後基板焼入れ処理によるTiN薄膜の密着強度改善メカニズム
- TiN被覆超硬合金における薄膜の破壊強度評価
- TiN薄膜の摩擦摩耗特性に及ぼす成膜後基板焼入れ処理の影響
- 1107 高速度工具鋼の機械的特性に及ぼすスパッタクリーニング処理の影響(GS-3 実物の強度)
- 726 Fabrikant and Hansonの解を利用した球-平板接触応力下における半円形表面き裂の応力拡大係数評価(GS-3 応力拡大係数)
- P60 TiN被覆超硬合金におけるTiN薄膜の破壊強度(薄膜,ポスター講演3)
- HIP焼結Si_3N_4における表面層の破壊じん性評価
- TiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜後基板焼入れ時の加熱時間の影響
- 803 成膜後基板焼入れ処理したTiN薄膜の摩擦摩耗特性(GS-3,4 表面・摩耗,研究発表講演)
- 102 球-平板接触下における半円形微小表面き裂の応力拡大係数評価(セッション1)
- 球-平板接触下における半円形微小表面き裂の応力拡大係数評価
- TiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜後基板焼入れ処理の影響
- TiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜後基板焼入れ時の加熱時間の影響(S05-3 薄膜の強度物性,S05 薄膜の強度物性と信頼性)
- 球圧子押込み試験によるセラミックス部材表面層の破壊じん性評価(G03-2 き裂・破壊,G03 材料力学)
- 403 TiN薄膜の膜特性に及ぼす成膜後基板焼入れ処理の影響(破壊の進展とその抑制,破壊の発生・進展とその評価および抑制,オーガナイスドセッション・8,第53期学術講演会)
- DCマグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧の影響
- 707 セラミックス表面層の破壊強度に関する研究(GS-3 強度・破壊(2))
- 706 球-平板接触応力下における半円形表面き裂の応力拡大係数評価(GS-3 強度・破壊(2))
- 701 TiN被覆鋼の成膜後焼入れ処理による膜機能向上化に関する研究(GS-3 強度・破壊(1))
- TiN薄膜の機械的特性に及ぼすTi中間層の影響
- 転がり疲労はく離形状に関する破壊力学的検討
- 605 D. C. マグネトロンスパッタリングにより成膜した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧と成膜ガス圧の影響
- 621 球-平板接触下における表面き裂の応力拡大係数評価
- 526 転がり疲労はく離形状に関する破壊力学的検討(OS 接触問題と材料強度評価)
- 415 転がり疲労下で発生したはく離の断面形状観察とその応力拡大係数評価(GS-3 微小損傷計測)
- 401 転がり疲労による軸受鋼のはく離損傷発生挙動
- 247 X 線回折による軸受鋼の転がり接触疲労損傷評価
- X線回折によるS45C鋼の転がり接触疲労損傷評価
- 318 極薄板金属材料の疲労特性に及ぼすTiNコーティングの影響(OS1-3 表面改質処理と疲労強度)(OS1 高強度材・表面改質材の疲労と破壊)
- 505 エネルギ分散回折法による多結晶体Alの疲労損傷評価(GS-3 疲労(2))
- 633 エネルギ分散型 X 線応力測定法による多結晶体 Al の疲労損傷評価
- 1111 走査型X線回折顕微鏡による粗大結晶粒アルミニウムの変形下部組織観察(GS-3 計測・評価)
- 108 エネルギー分散型 X 線回折顕微法による粗大結晶粒 Al の引張変形下部組織観察
- 402 エネルギ分散型 X 線回折顕微法による粗大結晶粒 Al の曲げ疲労損傷評価
- 106 プラズマ窒化処理した SKD 鋼の摩擦摩耗特性
- コンプライアンス法に基づく GLARE3 Fiber/Metal 積層材料の疲労き裂進展特性
- 118 Fiber/Metal 積層材料 GLARE3-5/4 の疲労き裂進展特性 : 繊維方向の影響
- OS0806 球圧子接触繰返し荷重下でのセラミックス被覆材におけるはく離発生挙動(OS08-02 薄膜・皮膜の特性評価とその膜構造2,OS08 薄膜・皮膜の特性評価とその膜構造(1))
- OS0803 TiN薄膜の耐摩耗性に及ぼす熱処理の影響(OS08-01 薄膜・皮膜の特性評価とその膜構造1,OS08 薄膜・皮膜の特性評価とその膜構造(1))
- P055 極薄板SUS304鋼の疲労き裂進展特性に及ぼすTiNコーティングの影響(フェロー賞表彰対象ポスターセッション)
- 201 DC マグネトロンスパッタリング法により作製した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響
- 835 ステンレス鋼 SUS304 極薄板材の疲労特性におよぼす TiN 被覆の影響
- 21 D. C. マグネトロンスパッタリングにより作製した TiN 薄膜の機械的特性に関する研究
- D.C.マグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧ならびに放電電流の影響
- 107 スパッタリング TiN 薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響
- 530 セラミックス部材表面層の損傷評価(OS 接触問題と材料強度評価)
- 417 セラミックス部材表面層の損傷評価(GS-3 微小損傷計測)
- K-0702 TiN薄膜の膜特性におよぼすスパッタリング成膜条件の影響(S07-1 薄膜の創製と評価)(S07 表面改質とその機能特性評価)
- 426 TiN薄膜の膜特性におよぼすスパッタリング成膜条件の影響(WS-1 マイクロデバイスの加工と材料評価)
- 522 熱処理によるセラミックス被覆鋼の機械的特性改善(GS-3 疲労・破壊(2))
- TiN膜の膜内残留応力に及ぼす基材溶射処理の影響
- 202 球圧子押込み疲労試験によるTiN被覆材料における薄膜の強度特性評価(GS-3 計測・検査(1))
- セラミックスコーティングとレーザ熱処理の複合化による新表面改質手法 (特集 レーザ焼入れの現状)
- 111 曲げ荷重下の赤外線応力測定に基づく応力拡大係数評価に関する数値解析的検討(非破壊検査,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 106 レーザ熱処理したセラミックス薄膜の破壊強度(薄膜・界面強度,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 713 疲労き裂進展に伴うき裂周辺磁束密度分布の変化とその機構に関する研究(疲労荷重下の破壊II,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 308 SCM440鋼の疲労き裂進展に伴うき裂周辺磁場分布の変化挙動観察(非破壊検査,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 709 球圧子押込み疲労荷重下のTiN被覆WC-Co超硬合金における薄膜及び基板の破壊発生特性(疲労荷重下の破壊I,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 510 TiN被覆オーステナイト系ステンレス鋼SUS304極薄板の疲労き裂進展特性(疲労,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 511 TiN被覆鋼の転がり疲労特性に及ぼす成膜後熱処理の影響(疲労,破壊の発生・進展とその解析・評価・計測,オーガナイスドセッション7)
- 629 レーザ焼入れ処理によるセラミックス被覆鋼の高強度化(GS-3 金属科学)