粟野 仁 | 滋賀県立大学大学院:(現)中央発條(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• 滋賀県立大学大学院:(現)中央発條(株)の論文著者

関連著者

• 田邉 裕貴

  滋賀県立大学工学部

• 粟野 仁

  滋賀県立大学大学院:(現)中央発條(株)

• 高松 徹

  滋賀県立大学工学部

• 三好 良夫

  滋賀県商工環境(株)

• 田邉 裕貴

  滋賀県大 工

• 三好 良夫

  滋賀県立大学 地域産学連携センター

• 高松 徹

  滋賀県大

• 粟野 仁

  滋賀県立大学大学院

• 三好 良夫

  滋賀県大

• 粟野 仁

  滋賀県大院

• 田邉 裕貴

  滋賀県立大学

• 高松 徹

  滋賀県立大学

• 高松 徹

  滋賀県立大

• 田邉 裕貴

  滋賀県立大

• 三好 良夫

  滋賀県立大学工学部

• 杉浦 英行

  滋賀県立大学大学院:(現)(株)トーカロ

• 杉浦 英行

  トーカロ

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著作論文

• DCマグネトロンスパッタリングにより作製したTiN薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧の影響
• TiN薄膜の機械的特性に及ぼすTi中間層の影響
• 605 D. C. マグネトロンスパッタリングにより成膜した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧と成膜ガス圧の影響
• 201 DC マグネトロンスパッタリング法により作製した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響
• 107 スパッタリング TiN 薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響
• K-0702 TiN薄膜の膜特性におよぼすスパッタリング成膜条件の影響(S07-1 薄膜の創製と評価)(S07 表面改質とその機能特性評価)

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