粟野 仁 | 滋賀県大院
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概要
関連著者
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田邉 裕貴
滋賀県立大学工学部
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田邉 裕貴
滋賀県大 工
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高松 徹
滋賀県大
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三好 良夫
滋賀県大
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粟野 仁
滋賀県大院
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粟野 仁
滋賀県立大学大学院:(現)中央発條(株)
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高松 徹
滋賀県立大学工学部
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三好 良夫
滋賀県商工環境(株)
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杉浦 英行
滋賀県立大学大学院:(現)(株)トーカロ
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杉浦 英行
トーカロ
著作論文
- 605 D. C. マグネトロンスパッタリングにより成膜した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼすバイアス電圧と成膜ガス圧の影響
- 201 DC マグネトロンスパッタリング法により作製した TiN 薄膜の機械的特性に及ぼす成膜ガス圧力の影響
- K-0702 TiN薄膜の膜特性におよぼすスパッタリング成膜条件の影響(S07-1 薄膜の創製と評価)(S07 表面改質とその機能特性評価)