803 成膜後基板焼入れ処理したTiN薄膜の摩擦摩耗特性(GS-3,4 表面・摩耗,研究発表講演)
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概要
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The ball-on-disc type wear test was carried out for TiN film which steel substrate was quenched after TiN coating, and the effects of the substrate post quenching on the wear properties of TiN film were discussed. TiN film on the substrate quenched after TiN coating revealed the lower friction coefficient and the higher wear resistance than the film coated on the quenched substrate. The low friction coefficient obtained by the substrate post quenching was attributed to the formation of the titanium oxide which acted as a lubricant. In addition, the flaking initiation life was also improved because of the high adhesive strength obtained by the substrate post quenching.
- 2005-03-18
著者
-
高松 徹
滋賀県立大学工学部
-
田邉 裕貴
滋賀県立大学工学部
-
三好 良夫
滋賀県立大学工学部
-
三好 良夫
滋賀県商工環境(株)
-
田邉 裕貴
滋賀県大 工
-
相良 秀一
滋賀県立大学大学院
-
三好 良夫
滋賀県立大学 地域産学連携センター
-
田邉 裕貴
滋賀県立大学
-
高松 徹
滋賀県立大学
-
相良 秀一
大日本スクリーン製造(株):(元)滋賀県立大学大学院工学研究科
-
高松 徹
滋賀県立大
-
田邉 裕貴
滋賀県立大
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