21 D. C. マグネトロンスパッタリングにより作製した TiN 薄膜の機械的特性に関する研究
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-08-06
著者
-
高松 徹
滋賀県立大学工学部
-
田邉 裕貴
滋賀県立大学工学部
-
三好 良夫
滋賀県商工環境(株)
-
三好 良夫
滋賀県立大学 地域産学連携センター
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田邉 裕貴
滋賀県立大学
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高松 徹
滋賀県立大学
-
高松 徹
滋賀県立大
-
田邉 裕貴
滋賀県立大
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