加圧ドクターブレード法により得られたチタン酸バリウム薄膜における配向性
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概要
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厚さ20μmから120μmの純粋なチタン酸バリウム薄膜が加圧転写法の一種である加圧ドクターブレード法により得られた. 膜は成形焼結体とともに1300, 1350及び1400℃でそれぞれ2時間焼結された. 焼結温度が高くなるに従って, 膜内部の空孔が減少し緻密化が進むと同時に粒成長が進行し, 1350℃と1400℃で焼結した膜は大部分が厚さ方向に一粒子から成っていた. 粒成長は膜の厚さ方向に飽和した後, 表面と平行な方向に進み粒子は偏平な形となった. 厚さ40μm程度の膜では, 粒径が膜厚の2倍以上の粒子が占める面積の割合は, 1300℃では0%, 1350℃では9%, 1400℃では25%であった. これらの膜では, X線回折により表面に垂直にc軸が配向し易いことが示された. 粒子の配向は焼結体では全く認められなかったが, 薄膜では, 同じ厚さの膜では, 焼結温度が高い程, 同じ焼結温度では膜が薄い程配向性は増大した.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1977-05-01
著者
-
柳田 博明
東京大学工学部 学術振興会ロンドン研究連絡センター 前環境安全研究センター. 元先端科学技術研究センター
-
永井 正幸
武蔵工業大学工学部
-
永井 正幸
東京大学工学部工業化学科
-
小川 光美
東京大学工学部工業化学科
-
柳田 博明
東京大学工学部
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