SiC/ZnOヘテロ接触による酸化性ガスの検出 : NO_x検知
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概要
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The oxidizing gas (NO_x or Cl_2) gas sensing characteristics of SiC/ZnO heterocontact were investigated. The current through the interface of SiC and ZnO under forward bias (SiC^+, ZnO^-) was decreased by the introductio of NO or NO_2 gas. For the generation of the NO_x gas sensing characteristics, the presence of water vapor is needed but too much water vapor spoiled the NO_x sensing characteristics. That is similar to the chlorine gas sensing characteristics of SiC/ZnO heterocontact reported previously. The present results suggest that the oxidizing power of the molecules is a key point for explaining the gas sensing mechanism of SiC/ZnO heterocontact at room temperature.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1991-09-01
著者
-
中村 吉伸
東大新領域
-
中村 吉伸
東大院新領域
-
河本 邦仁
東京大学工学部工業化学科
-
中村 吉伸
東京大学先端科学技術研究センター
-
小山 竜二
東京大学工学部工業化学科
-
柳田 博明
東京大学工学部 学術振興会ロンドン研究連絡センター 前環境安全研究センター. 元先端科学技術研究センター
-
小山 竜二
東京大学先端科学技術研究センター
-
柳田 博明
東京大学工学部
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