31a-T-10 熱酸化Si/Si(001)界面遷移相のアニール依存性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-03-17
著者
-
高橋 功
関学大理工
-
淡路 直樹
富士通研究所
-
高橋 功
関学大理ハイテク・リサーチ・センター
-
杉田 義博
(株)富士通研究所
-
杉田 義博
富士通研究所株式会社
-
杉田 義博
富士通研究所
-
置田 尚吾
関学大理
-
高橋 功
関学大理
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