30a-ZF-8 Cl/Si(111)7x7 の 紫外レーザーエッチング

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-03-12

著者

• 長谷川 幸雄

  東大物性研

• 橋詰 富博

  日立製作所基礎研究所

• 村田 好正

  東大物性研

• 村田 好正

  東大生産研

• 桜井 利夫

  東北大金研

• 橋詰 富愽

  東北大金研

• 村主 学

  東大物性研

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