安定化させたSi表面の電気的性I ; 高温酸化、低温酸化、樹脂保護膜 : 半導体 : 表面

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1965-04-06

著者

• 川路 紳治

  学習院大 理

• 小林 秋男

  通研

• 荒田 光

  通研

• 佐藤 収一

  学習院大 理

• 佐藤 収一

  学習院大理

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