25pZ-14 SiC薄膜収縮によるSiC/Si界面欠陥の形成

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 榎田 豊次

  福菱セミコンエンジニアリング分析評価センター

• 孫 勇

  九工大・情報工

• 宮里 達郎

  九工大・情報工

• 園田 信夫

  福菱セミコン

• 孫 勇

  九工大工

• 榎田 豊次

  福菱セミコン

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