園田 信夫 | 福菱セミコン
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
園田 信夫
福菱セミコン
-
孫 勇
九工大工
-
宮里 達郎
九工大情報工
-
孫 勇
九工大情報工
-
孫 勇
九工大・情報工
-
宮里 達郎
九工大・情報工
-
榎田 豊次
福菱セミコン
-
榎田 豊次
福菱セミコンエンジニアリング分析評価センター
-
寺本 和良
三菱電機(株)先端総研
-
杉浦 健
福菱セミコンエンジニアリング(株)
-
加藤 眞司
アイグラフィックス(株)
-
園田 信夫
福菱セミコンエンジニアリング(株)
-
園田 信夫
副菱セミコン
-
榎田 豊次
副菱セミコン
-
寺本 和良
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
松尾 章子
福菱セミコンエンジニアリング(株)
-
塩村 直人
協和界面科学(株)
著作論文
- 25pZ-14 SiC薄膜収縮によるSiC/Si界面欠陥の形成
- 28a-YK-12 SiC薄膜中過剰C原子のSi基板への外拡散
- 28a-S-3 SiC膜/Si基板界面に形成されたC-rich層の結晶性
- 28a-S-2 SiC膜/Si基板界面にC-rich層の形成メカニズム
- SiC薄膜/Si基板界面の空洞化メカニズム
- 水素プラズマスパッタリング法によるSiC薄膜の低温作成
- 紫外線照射に伴うPPS表面の改質効果