孫 勇 | 九工大・情報工

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概要

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• 孫 勇

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• 宮里 達郎

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• 園田 信夫

  福菱セミコン

• 榎田 豊次

  福菱セミコン

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  福菱セミコンエンジニアリング分析評価センター

• 斗内 政吉

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著作論文

• 3a-TB-7 水素プラズマケミカルスパッタリング法による II-VI属化合物半導体薄膜の結晶成長
• A-4 airgap法によるC_薄膜の弾性表面波吸収(基礎・物性・フォノン,口頭発表)
• 25pZ-14 SiC薄膜収縮によるSiC/Si界面欠陥の形成
• 28a-YK-12 SiC薄膜中過剰C原子のSi基板への外拡散
• 23pT-5 シリコン単結晶熱エッチングにおける応力効果
• 25p-YE-12 ナノ結晶SiC薄膜のIR吸収特性

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