孫 勇 | 九工大情報工

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概要

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関連著者

• 宮里 達郎

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• 孫 勇

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• 園田 信夫

  福菱セミコン

• 宮里 達郎

  九工大

• 西谷 龍介

  九工大情報

• 桐本 賢太

  北九州高専電気電子

• 桐本 賢太

  九工大情報工

著作論文

• 29p-J-5 水素プラズマスパッタリング法によるSi:H薄膜堆積中のエッチング効果
• 23pWA-4 SiC/Si構造のアニール特性
• 28a-S-3 SiC膜/Si基板界面に形成されたC-rich層の結晶性
• 28a-S-2 SiC膜/Si基板界面にC-rich層の形成メカニズム
• SiC薄膜/Si基板界面の空洞化メカニズム
• 水素プラズマスパッタリング法によるSiC薄膜の低温作成

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