26p-M-11 a-Si:H/a-Si_<1-x>N_x:H超格子膜の界面欠陥

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-03-11

著者

• 山口 政晃

  物性研

• 森垣 和夫

  物性研

• 山口 政晃

  東大工

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