能動自成絞り付き高剛性空気静圧軸受の開発

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1994-09-05

著者

• 有井 士郎

  鳥取大学大学院工学研究科

• 水本 洋

  鳥取大学工学部

• 有井 士郎

  鳥取大学工学部

• 上 芳啓

  (株)不二越

• 水本 洋

  鳥取大

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