空間フィルタオンマシン描画装置の開発
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概要
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An on-machine printing system for a spatial filter has been developed to detect small particles on the memory-mat of a 0.3 μm LSI. A minicopy film is used for the base of spatial filters. A pattern on the filter is printed by a thermal head using a ribbon painted with ink of synthetic resin. The maximum size of the printed spatial filter is 16 × 16 mm. The transmission factors of printed and transparent parts are 0.92% and 92% respectively. The printing time is 5 seconds. The signal obtained at memory-mat decreases to 4% using this spatial filter and 0.6 μm standard particles are detected at an SN ratio of 3.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-07-05
著者
-
水野 文夫
(株)日立製作所デバイス開発センタ
-
秋山 伸幸
長岡技術科学大学
-
水野 文夫
(株)日立製作所 計測器事業部
-
芹澤 正芳
(株)日立製作所生産技術研究所
-
井古田 まさみ
(株)日立製作所デバイス開発センタ
-
高見 勝己
湘南工科大学
-
江間 正悟
湘南工科大学
-
高見 勝己
湘南工科大学大学院
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