高見 勝己 | 湘南工科大学大学院

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概要

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関連著者

• 高見 勝己

  湘南工科大学大学院

• 高見 勝己

  湘南工科大学

• 水野 文夫

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 水野 文夫

  (株)日立製作所 計測器事業部

• 井古田 まさみ

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 岩坂 泰信

  名古屋大学大学院環境学研究科

• 秋山 伸幸

  長岡技術科学大学

• 林 政彦

  名古屋大学太陽地球環境研究所

• 土屋 政義

  (株)シグマテック

• 秋山 伸幸

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 芹澤 正芳

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 葛西 武

  株式会社シグマテック

• 土屋 政義

  シグマテック

• 江間 正悟

  湘南工科大学

• 葛西 武

  (株)シグマテック

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著作論文

• 空間フィルタオンマシン描画装置の開発
• 空間フィルタを用いたウエハ異物検出技術
• 観測気球搭載用エアロゾル・ゾンデの開発
• 光散乱法による粒子計測 : 雑音成分低減の考察
• AP-CVD 炉内粒子のウエーハ表面付着低減方法に関する研究
• クリ-ン度の計測と評価法 (クリ-ン環境とトライボロジ-)

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