帯状波動面を用いたソース・シンク変位駆動による進行波型リニアマイクロフィーダ
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1996-05-05
著者
-
笹木 亮
富山大院
-
小泉 邦雄
富山大学工学部
-
佐々木 基文
富山大学工学部
-
笹木 亮
富山大学工学部
-
荒木 一彦
澁谷工業(株)
-
佐々木 基文
富山大学
-
岡部 佐規一
金沢大学工学部
-
横山 恭男
石川工業高等専門学校
-
横山 恭男
石川工高専
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