CO_2レーザビームの強度分布測定機の試作とPMMAのクレータしきい値の評価
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概要
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大出力のCO_2レーザビームのパワー密度分布を測定するための装置を製作し, これを用いて3kWまでのビームのパワー密度分布の測定を行うことができた。この装置は単素子のHgCdTeを検知器として, 鉛直方向にはこの検知器の並進運動, 水平方向には四角柱ミラーの回転でビームを振ることで二次元走査を行い, 2個のマイクロプロセサと8bit×40KワードのRAMを用いてデータのサンプリングと処理を行う。任意の断面のパワー密度分布, 等パワー密度曲線パワー密度分布の瞰俯 : 図がCRTにグラフィック表示される。パワー密度分布には絶対値で目盛が入れられる。この測定機でパワー密度分布が測定されたビームでPMMAを照射し, できたクレータの輪郭の部分のパワー密度からこの材料を蒸発させるパワー密度のしきい値を知ることができる。ビームの照射時間とこのしきい値との関係が調べられた。
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1982-12-05
著者
-
峰田 進栄
電子技術総合研究所
-
安永 暢男
電子技術総合研究所
-
池田 正幸
電子技術総合研究所
-
山田 昭政
電子技術総合研究所
-
小梶 好隆
電子技術総合研究所
-
川手 康郷
電子技術総合研究所
-
安永 暢男
新日本製鉄(株)エレクトロニクス研究所
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