ALD/CVDによる次世代Cu配線用単層バリヤ/ライナーCo(W)膜

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概要

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• 2012-02-27

著者

• 霜垣 幸浩

  東京大学大学院化学システム工学専攻

• 清水 秀治

  東京大学大学院工学系研究科

• 小林 芳彦

  大陽日酸株式会社

• 百瀬 健

  東京大学大学院工学系研究科

• 嶋 紘平

  東京大学大学院工学系研究科

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