超臨界流体中アニールによるめっき銅膜の改質
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概要
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- 2010-08-01
著者
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山本 智彦
(株)東レリサーチセンター形態科学研究部
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橋本 秀樹
株式会社東レリサーチセンター
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上野 和良
芝浦工大
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上野 和良
芝浦工業大学
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島田 裕至
芝浦工業大学
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青木 和慶
芝浦工業大学
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蓬田 茂
KISCO(株)
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赤堀 誠至
(株)東レ リサーチセンター
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山口 貴雅
芝浦工業大学
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松山 亜紀子
KISCO(株)
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矢田 隆司
KISCO(株)
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橋本 秀樹
(株)東レ リサーチセンター
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山本 智彦
(株)東レ リサーチセンター
-
橋本 秀樹
東レリサーチセ
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