SIMSによる high-k ゲート絶縁膜の高信頼性分析

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2007-11-10

著者

• 赤堀 誠至

  (株)東レ リサーチセンター

• 長谷川 剛啓

  株式会社東レリサーチセンター表面科学研究部

• 赤堀 誠至

  株式会社東レリサーチセンター表面科学研究部

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