極薄イットリウムアルミネート絶縁膜の物性及び電気的特性評価

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 2005-05-10

著者

• 橋本 秀樹

  株式会社東レリサーチセンター

• 山元 隆志

  株式会社東レリサーチセンター

• 杉田 義博

  株式会社富士通研究所 Cプロジェクト部

• 池田 和人

  株式会社富士通研究所

• 泉 由貴子

  株式会社東レリサーチセンター

• 井上 實

  大陽日酸株式会社

• 大沢 正典

  大陽日酸株式会社

• 羽坂 智

  大陽日酸株式会社

• 杉田 義博

  富士通株式会社プロセス開発部

• 橋本 秀樹

  東レリサーチセ

• 大沢 正典

  日本酸素株式会社産業ガス事業本部技術統括部

• 杉田 義博

  株式会社富士通研究所

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