平板型表面波プラズマ装置の大型化に関する数値解析
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概要
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- 2000-08-22
著者
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桂井 誠
東京大学工学部
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桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
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小池 謙一
東京大学
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鳥羽 孝幸
東京大学 大学院工学系研究科 電気工学
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板垣 敏文
東京大学
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鳥羽 孝幸
東京大学大学院工学系研究科電気工学
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桂井 誠
東京大学
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