表面波プラズマ装置と新直流バイアス印加法を用いた薄膜ナノクリスタルダイヤモンド低気圧合成
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概要
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- 一般社団法人 表面技術協会の論文
- 2006-09-01
著者
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桂井 誠
放送大学東京文京学習センター
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桂井 誠
東京大学工学部
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桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
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金 載浩
東京大学 新領域創成科学研究科
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桂井 誠
放送大学 東京文京学習センター
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金 載浩
(独)産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター
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桂井 誠
東京大学
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金 載浩
東京大学 大学院新領域創成科学研究科 先端エネルギー工学
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