マイクロストリップラインを用いたマイクロ波励起リモートプロセスプラズマ
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概要
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- 2008-12-19
著者
-
大崎 博之
東京大学
-
桂井 誠
放送大学東京文京学習センター
-
金 載浩
産業技術総合研究所
-
桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
-
金 東〓
東京大学
-
桂井 誠
放送大学 東京文京学習センター
-
金 載浩
(独)産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター
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