マイクロストリップ線路を用いた大気圧CVD用マイクロ波励起吹き出しプラズマ
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概要
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- 2010-10-01
著者
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大崎 博之
東京大学
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大崎 博之
東京大学 新領域創成科学研究科
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桂井 誠
放送大学東京文京学習センター
-
金 載浩
(独)産業技術総合研究所ナノチューブ応用研究センター
-
キム ドンミン
東京大学
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桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
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キム ドンミン
東京大学 大学院新領域創成科学研究科 先端エネルギー工学専攻
-
桂井 誠
放送大学 東京文京学習センター
-
金 載浩
(独)産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター
-
大崎 博之
東京大学 大学院新領域創成科学研究科
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