円形表面波プラズマ装置の放電特性に関する3次元数値解析
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概要
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- 2001-08-23
著者
-
桂井 誠
放送大学東京文京学習センター
-
金 載浩
東京大学大学院新領域創成科学研究科先端エネルギー専攻
-
桂井 誠
東京大学工学部
-
桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
-
金 載浩
東京大学 新領域創成科学研究科
-
中川 貴嗣
東京大学 大学院工学系研究科 電気工学
-
金 載浩
(独)産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター
-
桂井 誠
東京大学
-
中川 貴嗣
東京大学
-
金 載浩
東京大学 大学院新領域創成科学研究科 先端エネルギー工学
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