27pA33P 円形表面波プロセスプラズマ装置における3次元電磁界解析(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-11-20
著者
-
桂井 誠
放送大学東京文京学習センター
-
金 載浩
東京大学大学院新領域創成科学研究科先端エネルギー専攻
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桂井 誠
東京大学工学部
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金 載浩
東京大学 新領域創成科学研究科
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桂井 誠
放送大学 東京文京学習センター
-
金 載浩
(独)産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター
-
桂井 誠
東京大学
-
金 載浩
東京大学 大学院新領域創成科学研究科 先端エネルギー工学
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