ダイヤモンド薄膜合成用の表面波プラズマCVD装置におけるプラズマ特性の最適化
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概要
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- 2003-05-08
著者
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桂井 誠
放送大学東京文京学習センター
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金 載浩
東京大学大学院新領域創成科学研究科先端エネルギー専攻
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桂井 誠
東京大学工学部
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桂井 誠
放送大 東京文京学習セ
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金 載浩
東京大学 新領域創成科学研究科
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桂井 誠
放送大学 東京文京学習センター
-
金 載浩
(独)産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター
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桂井 誠
東京大学
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金 載浩
東京大学 大学院新領域創成科学研究科 先端エネルギー工学
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